臭氧氧化性強，對COD有一定的去除能力，具有在處理過程中不會產生三鹵甲烷等致突變、致癌物質的優勢，但臭氧水處理工藝直到現在也未大范圍投入應用，究其原因主要是臭氧水處理工程一次性投資大、運行費用較高等。由于臭氧具有很強的氧化性，因此臭氧發生器、臭氧接觸塔以及傳輸 .管道和閥門必須采用抗臭氧氧化的材料，包括玻璃、不銹鋼、特氟隆和未增塑的聚氯乙烯塑料等，而這些材料的價格一般比較高。另一方面，在臭氧水處理工程中，為增大氣液傳質系數而設置的臭氧接觸設備，不論是接觸池或接觸塔都比較龐大，都會使設備投資增加 .根據目前的臭氧制取技術，每制取1kg臭氧約耗電在20kW·h，按照每分解1kgCOD需要3kg的臭氧計算，則每處理1kgCOD需要28.8元。較高的運行費用也是這一技術未能大規模應用的主要因素之一,隨著電子技術的發展，臭氧的造價必將逐步降低，新材料臭氧發生管的開發及傳質技術的深入研究將很大程度地減少臭氧氧化技術的工程投資

和運行費用，可以相信，臭氧氧化技術在不久的將來會得到廣泛的應用。